温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了微机电系统装置以及用于形成微机电系统装置的方法。本发明公开一种用于形成MEMS装置的方法和系统。在第一方面中，所述方法包括在基底衬底的顶部金属层的至少一部分上方提供导电材料，图案化所述导电材料和所述顶部金属层的所述至少一部分，以...
该专利属于应美盛股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过应美盛股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。