下载一种基于电子束枪的感应炉熔硅起炉装置及工艺的技术资料

文档序号:14782108

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本发明公开了一种基于电子束枪的感应炉熔硅起炉装置及工艺,包括感应炉,在感应炉的空腔内设置有线圈,在线圈内侧设置有线圈胶泥层,在线圈胶泥层内侧填筑夯实形成有内衬层,在感应炉顶部至少设置有一个或一个以上的电子束枪。本发明通过在感应炉上配置一个或...
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