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光谱仪、单光仪、绕射光栅及其制造方法与母模制造方法技术
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文档序号:14779145
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本发明公开一种绕射光栅,其包括一基板以及多个绕射结构。这些绕射结构彼此相连,并形成在基板上,各个绕射结构的形状为柱状,这些绕射结构沿着一内凹柱面排列,其中这些绕射结构的轴线沿着内凹柱面的母线延伸,其中沿着垂直于各条轴线的方向对这些绕射结构剖...
该专利属于台湾超微光学股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过台湾超微光学股份有限公司授权不得商用。
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