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薄膜晶体管的制备方法技术
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文档序号:14777862
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薄膜晶体管的制备方法,属于半导体显示技术领域,本发明包括下述步骤:1)ITO玻璃衬底基片清洗;2)制备Al2O3:PVP绝缘层:ITO玻璃衬底上旋涂Al2O3:PVP前驱体溶液,然后在200℃~250℃条件下退火,然后重复旋涂——退火至少一...
该专利属于电子科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过电子科技大学授权不得商用。
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