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本发明公布了一种磁传感器阵列集成结构及其制作方法，所述磁传感器阵列由偏置磁铁、体声波谐振器阵列芯片、芯片管脚、陶瓷封装基座、磁流体和玻璃覆片组成。所述体声波谐振器阵列芯片包括：硅衬底、布拉格声反射层、底电极、压电薄膜层、顶电极、过孔填充、电...
该专利属于中国船舶重工集团公司第七一九研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国船舶重工集团公司第七一九研究所授权不得商用。

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