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本发明揭示一种可连同检验系统一起使用的多轴定位系统，所述多轴定位系统包含对应于多个轴的多个位置传感器以及也对应于多个轴的多个电机，以为物体在最多6个自由度内的可控制移动提供高准确度、高负载及经扩展行程。所述多轴定位系统的一些实施例可包含x‑...
该专利属于新港公司所有，仅供学习研究参考，未经过新港公司授权不得商用。

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