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提供一种用于旋转式溅射目标(1)的末端块(4)，例如，旋转式磁控溅射目标。溅射装置包括一个或多个末端块，电触头(例如导电刷)(18)则定位在真空区域(8)(相对于大气压下的区域(9))的末端块中的收集器(20)和转子(22)之间。...
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