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一种光波导器件(111)包括:衬底(111);布置在衬底上的下包覆层(112);脊形波导(100),包括布置在下包覆层上的平板(115)以及布置在平板上的与平板邻接的单个脊(114);以及布置在脊形波导上的上包覆层(113)。脊形波导包括:...该专利属于株式会社藤仓;新加坡科技研究局所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社藤仓;新加坡科技研究局授权不得商用。
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一种光波导器件(111)包括:衬底(111);布置在衬底上的下包覆层(112);脊形波导(100),包括布置在下包覆层上的平板(115)以及布置在平板上的与平板邻接的单个脊(114);以及布置在脊形波导上的上包覆层(113)。脊形波导包括:...