下载叠层芯片微流道散热结构和制备方法的技术资料

文档序号:14759193

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本发明提供一种叠层芯片微流道散热结构,包括芯片基板、组装在芯片基板上的叠层芯片,所述叠层芯片被内封装材料所封装,形成内封装体;内封装体的侧面设有侧散热组件,顶部设有上散热组件;侧散热组件和上散热组件中均设有供冷却液流动的微流道;上散热组件与...
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