下载基于MEMS微执行器的可调太赫兹波导带阻滤波器的技术资料

文档序号:14759160

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本发明公开了一种基于MEMS微执行器的可调太赫兹波导带阻滤波器,包括矩形波导、MEMS微执行器及谐振结构;所述矩形波导由对称结构的上腔体和下腔体构成,所述上腔体和下腔体接触面中段均设有矩形直波导,所述矩形直波导两侧对称设置有与其连通的微执行...
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