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一种微纳米图形化蓝宝石衬底及其制备方法，涉及半导体技术领域。本发明微纳米图形化蓝宝石衬底包括微米图形蓝宝石衬底和在所述微米图形蓝宝石衬底上制作的纳米图形结构。同现有技术相比，本发明在微米图形化蓝宝石衬底基础上，通过软模板纳米压印技术来制作纳...
该专利属于南通同方半导体有限公司;同方股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过南通同方半导体有限公司;同方股份有限公司授权不得商用。

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