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微粒子侦测器及筛选元件的制造方法技术
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文档序号:14743967
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本发明公开一种微粒子侦测器及筛选元件的制造方法。该微粒子侦测器包括一筛选元件,具有多数个孔;及一侦测元件,对应地设置于该筛选元件的下方,该侦测元件具有一侦测区用以侦测至少一微粒子浓度。本发明还包括一种筛选元件的制造方法。...
该专利属于财团法人工业技术研究院所有,仅供学习研究参考,未经过财团法人工业技术研究院授权不得商用。
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