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文档序号:14707602
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本发明公开了一种光学元件,所述光学元件包括设置在基板上并且与所述基板接触的抗反射层。所述抗反射层具有大于1至小于1.41的折射率,并且具有范围大于0至小于300nm的孔径。所述抗反射层包括最外表面,所述最外表面具有如使用ASTM 5946‑...
该专利属于道康宁公司所有,仅供学习研究参考,未经过道康宁公司授权不得商用。
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