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用于构造三维(3D)集成电路(IC)(3DIC)和相关系统的方法技术方案
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下载用于构造三维(3D)集成电路(IC)(3DIC)和相关系统的方法的技术资料
文档序号:14707500
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本发明揭示用于构造三维集成电路和相关系统的方法。在一个方面中,通过在固持衬底上形成例如晶体管的有源元件来构造第一层。在所述有源元件上方形成互连金属层。在所述互连金属层内形成金属接合垫。还同时或依序地形成第二层。所述第二层与所述第一层以大致相...
该专利属于高通股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过高通股份有限公司授权不得商用。
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