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一种基于孔径型导电探针的超局域化光电流扫描成像系统技术方案
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下载一种基于孔径型导电探针的超局域化光电流扫描成像系统的技术资料
文档序号:14706019
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本发明公开了一种基于孔径型导电探针的超局域化光电流扫描成像系统,该系统将激光束通过空间光路耦合进导电探针的锥形孔内,照射到样品上,利用导电探针、与样品连接的外电极形成的导电通路,以接触模式进行扫描成像,获得样品的形貌和超局域化光电流分布等信...
该专利属于中国科学院理化技术研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院理化技术研究所授权不得商用。
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