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一种高分辨率的线阵CCD直读型光谱仪制造技术
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文档序号:14702002
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本发明提供了一种高分辨率的线阵CCD直读型光谱仪,包括入射模块、准直镜、光栅、聚焦镜和线阵CCD芯片;准直镜设置在入射模块的出射光路上,光栅设置在所述准直镜的出射光路上,聚焦镜设置在光栅的出射光路上,线阵CCD芯片设置在所述聚焦镜的出射光路...
该专利属于华中科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过华中科技大学授权不得商用。
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