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本发明属于表面电荷测量技术领域，特别是一种利用开尔文探针力显微镜技术的表面电荷测量方法。本发明利用开尔文探针力显微镜本身自带的光纤干涉仪通过测量干涉激光强度的变化来测量探针的偏移量，完成对针尖到样品的距离修正，利用针尖与样品的实际距离和静电...
该专利属于电子科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过电子科技大学授权不得商用。

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