下载一种炉腔可更换的晶体提拉炉的技术资料

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一种炉腔可更换的晶体提拉炉,包括炉腔、旋转提拉称重单元、保温热场和坩埚,保温热场置于炉腔内,坩埚置于保温热场中,旋转提拉称重单元置于炉腔上方,籽晶杆置于炉腔内,并与旋转提拉称重单元连接;炉腔包括上法兰盘、下法兰盘和腔体,腔体置于上法兰盘和下...
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