下载用于光学检查的非成像相干的行扫描仪系统和方法的技术资料

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公开了用于测量透明片材中的至少一个缺陷的非成像相干的行扫描仪系统。所述系统包括产生相干的发散的激光线光束的激光器系统以及从中形成准直的激光线光束的圆柱形的光学系统。可移动支撑件支撑并且移动所述透明片材,从而在扫描期间所述准直的激光线光束扫描...
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