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本发明涉及一种制备AZO靶材的工艺，其包括将菱锌矿粉加入氨水和碳酸氢氨溶液中进行浸出，对浸出液进行除杂、过滤；将过滤后的固体先用氨水溶液洗涤，再用无水乙醇淋洗；接着进行陈化、抽滤，得到前驱体；将前驱体干燥、煅烧，得到纳米氧化锌粉体；将上述纳...
该专利属于柳州豪祥特科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过柳州豪祥特科技有限公司授权不得商用。

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