下载研磨工具、研磨方法及研磨装置的技术资料

文档序号:14685595

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本发明提供能够利用已有的研磨装置提高被研磨物的面精度的研磨工具等。研磨工具(3)的特征在于,具有呈球带状的研磨面(30b),从研磨面(30b)的内缘一直到外缘设有多个不与被研磨物抵接的非接触部(30e),在沿该研磨面(30b)的旋转中心轴(...
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