下载液滴致动器制造装置、系统和相关方法的技术资料

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公开了用于液滴致动器制造的示例方法、装置、系统。用于制作液滴致动器的在本文中所公开的示例方法包括用激光烧蚀第一衬底以在第一衬底上形成电极阵列。示例方法包括向电极阵列施加疏水或电介质材料中的至少一个。示例方法还包括将第一衬底与第二衬底对准。第...
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