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基于分段技术的硅微动调陀螺仪高精度数字闭环检测电路制造技术
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下载基于分段技术的硅微动调陀螺仪高精度数字闭环检测电路的技术资料
文档序号:14678793
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本发明公开一种基于分段技术的硅微动调陀螺仪高精度数字闭环检测电路,包括硅微动调陀螺仪的两组力矩反馈电极,两组信号敏感电极,以及两组闭环控制电路组成。每组闭环控制电路包括检测接口模拟处理电路、AD采样电路、FPGA控制算法、DA输出接口电路、...
该专利属于东南大学所有,仅供学习研究参考,未经过东南大学授权不得商用。
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