下载金属薄膜的检测方法的技术资料

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一种金属薄膜的检测方法,包括以下步骤:提供半导体衬底,所述半导体衬底的表面具有金属薄膜,所述半导体衬底的表面分中心区域和包围所述中心区域的边缘区域;在所述边缘区域内的多个预设位置,检测光反射率值;根据所述多个预设位置的光反射率值与预设阈值范...
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