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本实用新型涉及一种提高物理气相传输法晶体生长炉温场均匀性的装置，包括晶体生长炉，所述晶体生长炉包括射频电源、接触电极、线圈、保温层和石墨坩埚，所述线圈以水平轴对称方式均匀布置在所述保温层外侧，另外，该线圈可通过旋转装置实现绕保温层旋转。本实...
该专利属于山东省科学院能源研究所所有，仅供学习研究参考，未经过山东省科学院能源研究所授权不得商用。

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