下载真空磁控溅射镀膜线真空保压箱过渡室快速换气装置的技术资料

文档序号:14660006

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本发明公开了一种真空磁控溅射镀膜线真空保压箱过渡室快速换气装置,包括保压箱本体,所述保压箱本体的前段为过度室,在所述保压箱本体的过度室的顶面分布有至少两个进气口,在进气口上安装空气管,所述空气管上设置有空气自动流量调节阀,进气筒的一端封闭,...
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