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本发明提供一种高速饱和单行载流子紫外光电二极管及制备方法，该光电二极管包括衬底，所述衬底上依次生长有n型AlGaN外延层、p型AlGaN外延层和p型GaN接触层；所述n型AlGaN外延层上设有n型接触电极，所述p型GaN接触层上设有p型接触...
该专利属于聊城大学所有，仅供学习研究参考，未经过聊城大学授权不得商用。

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