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文档序号:1465273
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本发明涉及用于可回火基材,尤其是玻璃窗玻璃的涂层。该涂层包含例如直接在基材上的Si↓[3]N↓[4]层,其上是CrN层,其上是TiO↓[2]层和最后是Si↓[3]N↓[4]层。...
该专利属于应用材料两合公司所有,仅供学习研究参考,未经过应用材料两合公司授权不得商用。
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