下载一种光纤模组用的结构支架及其制作方法的技术资料

文档序号:14649537

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本发明公开了一种光纤模组用的结构支架及其制作方法,所述结构支架包括键合在一起的至少两块晶圆,晶圆相对面上开设有光纤沟槽,两晶圆的光纤沟槽相配装形成光纤通道;对应光纤通道接口的上层晶圆侧壁以及上层晶圆上表面均设置有焊盘;下层晶圆与上层晶圆设置...
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