温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供了一种可实现单晶在线退火的生长设备及其方法，所述生长设备包括：炉体、充气系统、真空系统、排气系统，所述退火方法将籽晶，多晶材料，氧化硼放入坩埚，通过垂直梯度温度方法生长单晶棒，生长结束后通入氯气，单晶棒表面附着的氧化硼与氯气反应变...
该专利属于北京鼎泰芯源科技发展有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京鼎泰芯源科技发展有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。