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提出一种ALD覆层设备。ALD覆层设备(100)具有：用于金属有机的初始材料(6)的储存容器(1)；和包括调节阀(3)、压力表(4)、压力隔板(5)和第一多通阀(10)的装置(2)，其中装置(2)设置在储存容器(1)的下游，并且第一多通阀(...该专利属于欧司朗OLED股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过欧司朗OLED股份有限公司授权不得商用。
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