温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种晶圆匣，所述晶圆匣在至少一侧壁的边缘处沿竖直方向设置有一开口，开口内设置有沿竖直方向滑动的限位件，限位件上设置有与晶圆槽数量相等的凸块，相邻凸块之间的距离与相邻晶圆槽之间的距离相等；当晶圆匣处于装卸晶圆的状态时，限位件上相邻凸...
该专利属于江苏纳沛斯半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏纳沛斯半导体有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。