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本发明公开了一种非接触式晶圆退火装置及其退火方法，所述退火设备包括晶圆、气浮载台、光源、红外测温探头及控制器，其中，气浮载台均匀密布多个气孔，气体从所述气孔通入，形成气垫，支撑所述晶圆；光源设置在晶圆的正上方，通过辐射对晶圆进行加热；红外测...
该专利属于北京鼎泰芯源科技发展有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京鼎泰芯源科技发展有限公司授权不得商用。

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