下载一种AlGaInP基发光二极管芯片及其制作方法的技术资料

文档序号:14636572

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本发明公开了一种AlGaInP基发光二极管芯片及其制作方法,属于半导体技术领域。所述制作方法包括:在衬底上依次形成N型缓冲层、N型腐蚀停层、N型欧姆接触层、N型电流扩展层、N型限制层、有源层、P型限制层、P型电流扩展层、反射镜层、粘结层;通...
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