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对基板作业系统、作业方法及供料器转移方法技术方案
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下载对基板作业系统、作业方法及供料器转移方法的技术资料
文档序号:14625082
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在具备排成列的多个装配机(12、14)的对基板作业系统(10)中,各装配机具有供给装置(26),该供给装置由供给电子元件的1个以上带式供料器(90)和以能够拆装的方式搭载这些1个以上带式供料器的带式供料器保持台(120)构成。并且,带式供料...
该专利属于富士机械制造株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过富士机械制造株式会社授权不得商用。
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