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本发明提供了一种ALN压电薄膜，本发明技术方案选用二氧化硅作为衬底，同时在现有技术的ALN层以上引入保护层，从而在不影响其性能的基础上尽可能延长其使用寿命。本发明技术方案设计合理，且易于实现，具有良好的推广应用前景。...
该专利属于天津市泛凯科贸有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过天津市泛凯科贸有限公司授权不得商用。

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