下载半导体材料少子寿命测试装置的技术资料

文档序号:14615790

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本实用新型提供了一种半导体材料少子寿命测试装置,其中,绝缘材料层的侧面与底面的夹角小于等于45°,由此能够使得发射到绝缘材料层侧面的微波向绝缘材料层底面反射,从而可减少绝缘材料层侧面反射的微波与样品侧面反射的微波形成干涉的几率,由此可减弱甚...
该专利属于昆山国显光电有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过昆山国显光电有限公司授权不得商用。

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