下载通过分解有机硅烷生产二氧化硅的方法的技术资料

文档序号:1461330

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一种生产高纯光学氧化硅预制棒的方法,该方法包括:a)气化有机硅化合物;b)热分解气态的所说有机硅化合物,从而形成无定型熔融氧化硅颗粒;c)将所说的无定型熔融氧化硅颗粒沉积在载体上;其中所说的有机硅化合物具有以下通式,其中,R#-[1],R#...
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