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本实用新型涉及湿度传感器。一种湿度传感器具有感测组件和参考组件。每个组件可以通过使用具有上部栅极介电层的晶体管来指示湿度，所述上部栅极介电层具有根据对水分改变的暴露而变化的介电常数。感测组件可以具有其暴露于周围环境的上部栅极介电层。参考组件...
该专利属于霍尼韦尔国际公司所有，仅供学习研究参考，未经过霍尼韦尔国际公司授权不得商用。

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