下载一种探针卡对针机的技术资料

文档序号:14602540

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本实用新型公开了一种探针卡对针机,包括基座、具有三自由度的探针卡支架、模板支架和显微支架;所述的基座为长方形,所述的探针卡支架、模板支架和显微支架沿基座短边方向由前向后安装在基座上;所述的探针卡支架包括三自由度调整机构和夹具,所述的模板支架...
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