下载一种等离子刻蚀机的技术资料

文档序号:14600987

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种等离子刻蚀机,包括箱体和隔板,所述隔板将箱体的内腔分为上腔室和下腔室,所述上腔室内通过支架安装有盒体,所述箱体的外侧分别安装有溶液箱和气泵,且溶液箱和气泵与盒体通过管道相连接,在两个管道上均安装有电磁阀,所述盒体上安装有...
该专利属于温州市赛拉弗能源有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过温州市赛拉弗能源有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。