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一种高精度、大行程三自由度并联微定位平台制造技术
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下载一种高精度、大行程三自由度并联微定位平台的技术资料
文档序号:14599178
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本实用新型公开了一种高精度、大行程三自由度并联微定位平台,包括基体,在基体的中央形成有动平台及均布在动平台周围的四个柔性桥式放大机构,沿X向布置的任意一个柔性桥式放大机构采用压电陶瓷驱动器Ⅰ驱动,沿Y向布置的两个柔性桥式放大机构各采用一个压...
该专利属于天津大学所有,仅供学习研究参考,未经过天津大学授权不得商用。
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