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一种MOSFET器件制造技术
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文档序号:14595539
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本实用新型涉及半导体器件技术领域,具体而言,涉及一种MOSFET器件,包括N+层、N区、栅电极区和源极金属,N+层上依次设置有N区、栅电极区和源极金属,源极金属与N区之间形成肖特基结,N区设置有第一凹槽和第二凹槽,且第二凹槽深度大于第一凹槽...
该专利属于吉林华微电子股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过吉林华微电子股份有限公司授权不得商用。
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