下载一种IGBT器件的技术资料

文档序号:14595536

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本实用新型涉及半导体器件技术领域,更具体地讲,涉及一种IGBT器件,包括源极金属、P+层、N区和栅电极区P+层位于最底层,向上依次设置N区、栅电极区和源极金属,源极金属与N区之间形成肖特基结,N区设置有第一凹槽和第二凹槽,且第二凹槽深度大于...
该专利属于吉林华微电子股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过吉林华微电子股份有限公司授权不得商用。

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