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本发明提出的是一种负压吸附夹具装置，由夹具放置槽、负压发生器和导管组成,其中夹具放置槽中放置成膜后的夹具，夹具通过导管与负压发生器相接；工作时，打开负压发生器，打开夹具的盖板，扣上水晶片托盘，将水晶片托盘与打开盖板后的夹具一起翻转，负压气体...
该专利属于南京中电熊猫晶体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过南京中电熊猫晶体科技有限公司授权不得商用。

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