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本发明提供一种具有良好孔掩蔽和分辨率的干膜抗蚀剂及其层压体，所述干膜抗蚀剂包括第一组分和第二组分，所述第一组分由碱可溶性聚合物、含有乙烯基的不饱和单体或寡聚物、光引发剂和助剂组成；所述第二组分由含羧基的碱可溶性聚合物、含有乙烯基的不饱和键单...
该专利属于杭州福斯特光伏材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过杭州福斯特光伏材料股份有限公司授权不得商用。

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