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悬浮液、研磨液套剂、研磨液、基体的研磨方法以及基体技术
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文档序号:14577287
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本发明提供一种研磨液,所述研磨液含有:磨粒、具有芳香族杂环的化合物、添加剂(其中,不包括上述具有芳香族杂环的化合物)和水,所述磨粒含有4价金属元素的氢氧化物,所述芳香族杂环具有未与氢原子键合的环内氮原子,使用Merz-Kollman法得到的...
该专利属于日立化成株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过日立化成株式会社授权不得商用。
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