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本实用新型公开了一种真空冷却装置，包括一个真空室和冷凝泵，其中，与真空室出口端设置一个缓冲管，在所述缓冲管的一端设置一个冷井，所述冷井连接一个冷井压缩机。在所述冷井与缓冲管之间设置一个阀门。其中，在所述冷凝泵的一端设置冷凝泵压缩机。所述真空...该专利属于上海中科澳谱光电器件有限公司;杰莱特(苏州)精密仪器有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海中科澳谱光电器件有限公司;杰莱特(苏州)精密仪器有限公司授权不得商用。