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提供一种复合材料和该复合材料的制造方法，所述复合材料是在形成于硅表面层的非穿透孔内，使用镀覆法以金属等以不形成空隙的方式填充，并且该硅表面层被金属等覆盖的粘合性高的复合材料。通过以位于从硅基板(100)表面形成的非穿透孔的底部的第1金属为起...
该专利属于国立研究开发法人科学技术振兴机构所有，仅供学习研究参考，未经过国立研究开发法人科学技术振兴机构授权不得商用。

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