下载椭圆弯晶谱仪的离线精密装调及在线精确复位准直的方法的技术资料

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本发明涉及一种椭圆弯晶谱仪的离线精密装调及在线精确复位准直的方法。该方法包括椭圆弯晶谱仪离线精密装调和椭圆弯晶谱仪在线精确复位准直,本发明采用“所有反射光束共焦+共轭式靶点瞄准定位”和“光源、椭圆弯晶、椭圆几何光学成像像面三者间的精密耦合转...
该专利属于中国工程物理研究院上海激光等离子体研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国工程物理研究院上海激光等离子体研究所授权不得商用。

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